Tweakers · Technologie

ASML en TSMC werken samen aan grotere chips met high-NA machines

ASML en TSMC leiden een initiatief om de printgrootte van ASML's high-NA machines te vergroten. Dit moet leiden tot grotere, snellere en potentieel goedkopere chips, met name voor AI.

Het initiatief, gesteund door chipmakers als Samsung en Intel, richt zich op grotere maskers voor high-NA machines. Huidige maskers van 6"x6" beperken de printgrootte tot 429mm², terwijl eerdere machines 858mm² konden belichten. Grotere maskers (12"x6") herstellen de oorspronkelijke limiet.

Dit maakt het mogelijk grotere chips, zoals AI-gpu's, in één keer af te beelden. Dit verhoogt de productiesnelheid en verlaagt kosten. De industrie hoopt in 2031 een proeflijn te openen, met grootschalige productie vanaf 2033.

TSMC zet vanaf 2030 high-NA machines in voor massaproductie. Samsung start rond 2028 met geheugenchips, en later met logicchips rond 2030.

Intel gebruikt high-NA al voor massaproductie van laptop-cpu's en heeft al meer dan een miljoen wafers belicht. De inzet wordt uitgebreid met het 14A-procedé in 2028.

De high-NA technologie, sinds 2015 in ontwikkeling, wordt nu breder geadopteerd. Na de eerste levering in 2025, zetten nu ook TSMC en Samsung in op grootschalige productie, ondersteund door de inspanningen voor grotere maskers.

AI-samenvatting op basis van de bron.